Focused Ion Beam (FIB)

Helios PFIB является передовой во всем мире платформой DualBeam с высокой пропускной способностью исследования образцов и 3D характеризации материалов.

V400ACE™ разработан специально для для модификации схем и анализа отказов. Ионная колонна Tomahawk обеспечивает высокопроизводительную и точную обработку образца, а также дает изображения в высоком разрешении.

Фокусированный ионный пучок с источником на основе зарядово-связанной плазмы Xe(+). Удаление материала до 20 раз быстрее по сравнению с традиционным Ga FIB.