PlasmaPro800 Platform
(Рус)
Универсальные решения для процессов плазменного травления и осаждения: PlasmaPro 800 обеспечивает процессы плазменного травления и осаждения на подложках большой площади, система выполнена в компактном корпусе с удобной открытой загрузкой, это делает её простой в использовании, без потери в качестве процессаPlasmaPro 800 с диаметром столика 380 мм или 460 мм может обрабатывать пластину размером 300мм (12″) или партию пластин до 43 штук размером 50 мм (2″), что позволяет использовать системы на этой платформе для серийного производства
