Nanofab800Agile

Vendor: Oxford Instruments Plasma Technology

The Nanofab800Agile delivers high performance growth of nanotubes and nanowires with in-situ catalyst activation and rigorous process control. Oxford Instruments offers flexible tools with proven processes

PlasmaPro System100 PECVD

Vendor: Oxford Instruments Plasma Technology

(Рус)

Система для плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD)

(Рус)

Оборудование платформы PlasmaPro100 идеально подходит для применения в производстве МЭМС, HBLED, сенсоров, силовых полупроводниковых приборов, используется для анализа отказов, а также в других областях, связанных с внедрением нанотехнологий, фотовольтаики и др. Основной модуль систем серии PlasmaPro 100 совместим с технологическими модулями, отвечающими стандарту MESC, и может использоваться в составе кластерной системы (в комбинации с установками FlexAl, Ionfab, Nanofab). В зависимости от специфики задач на производстве или в лаборатории, вы можете выбрать оптимальную конфигурацию установки для процесса реактивно-ионного травления (RIE), плазмохимического травления с источником индуктивно-связанной плазмы (ICP), травления кремния и других специальных областей применения.