PlasmaPro100 Platform

Каталог систем обработки полупроводниковых пластин. Заказать оборудование на платформе PlasmaPro100 для процессов травления и осаждения в компании ТехноИнфо

PlasmaPro 80 Platform

PlasmaPro80 – платформа для компактных систем с открытой загрузкой для плазмохимических процессов (RIE, ICP etch, ICP CVD и PECVD).

PlasmaPro800 Platform

PlasmaPro800 – платформа с открытой загрузкой и большой вместимостью пластин для реактивного ионного травления и плазменного осаждения.

Платформа PlasmaPro1000

PlasmaPro1000 – платформа для максимальных производительности процессов травления и осаждения ориентированных на LED промышленность.

Magnetron Sputtering Tool

Vendor: Scientific Vacuum Systems (SVS)

SVS offers the flexibility of dc, pulsed dc, rf and reactive magnetron sputtering for batch or single-wafer PVD processing in production or research & development

E-beam Tool

Vendor: Scientific Vacuum Systems (SVS)

Like the V2000 series production sputtering systems, the e2000 production evaporators are individually configured around the end user’s requirements.The e2000 systems take advantage of the latest technology, with a wide range of available options.

FlexAL

Vendor: Oxford Instruments Plasma Technology

Cистема атомно-слоевого осаждения (ALD) со шлюзовой камерой FlexAL – это система для самоограничивающегося послойного роста сплошных тонких пленок, отличающихся высокой конформностью

Nanofab700

Vendor: Oxford Instruments Plasma Technology

Система для выращивание нанотрубок,нанопроводов и 2D структур плазмохимическим способом

Ionfab 300Plus

Vendor: Oxford Instruments Plasma Technology

Ионно-лучевая система для процессов нанесения и травления.

Ion Beam Tool

Vendor: Scientific Vacuum Systems (SVS)

To address the worldwide market requirements for Ion Beam Milling and Deposition Systems, Scientific Vacuum Systems Ltd have formed a partnership with Ion Beam Scientific, suppliers of KRI range of DC and RF Ion sources. Both organisations combine many years of experience in Ion Beam and Deposition Systems process knowledge and systems design.Our Ion Beam Systems range from R&D through to medium and large scale batch production units, incorporating the latest Ion Source designs and technology.

(Рус)

Мы предлагаем оборудование для химического осаждения из газовой фазы и вакуумного напыления покрытий, разработанное лидерами мирового рынка – Oxford Instruments Plasma Technology (OIPT) и Scientific Vacuum Systems (SVS). Системы серии PlasmaPro (OIPT) обеспечивают комплексные решения для исследовательских лабораторий и организации серийного производства. Гибкая конфигурация оборудования позволяет выбрать оптимальный вариант исполнения для реализации комбинированных процессов плазменно-стимулированного осаждения из газовой фазы и термического осаждения из газовой фазы (PECVD, ICP-CVD, LPCVD). Основные модули платформ PlasmaPro100, PlasmaPro133 PlasmaPro NGP могут использоваться как в качестве отдельной установки, так и в составе кластерной системы оборудования с установками FlexAl, Ionfab, Nanofab и другими модулями, совместимыми по стандарту MESC.

Компания Scientific Vacuum Systems специализируется на разработке систем физического осаждения покрытий. Мы предлагаем магнетронные, электронно-лучевые и ионно-лучевые установки, которые могут быть поставлены в различных конфигурациях, адаптированных для потребностей R&D-лабораторий или серийного производства. Для подбора оптимального варианта исполнения системы вакуумного напыления или плазмохимического осаждения из газовой фазы и расчета цены оборудования Вы можете оставить заявку на сайте.