TOF.SIMS M6

купить оборудование ION-TOF в Техноинфо

The M6 is the latest generation of high-end TOF-SIMS instruments developed by IONTOF. Its design guarantees superior performance in all fields of SIMS applications. New ground-breaking ion beam and mass analyser technologies make the M6 the benchmark in SIMS instrumentation and the ideal tool for industrial and academic research.



For detailed information please refer to Russian description.

(Рус)

В базовой комплектации установка содержит следующие компоненты:

1. Главная сверхвысоковакуумная камера. Камера поддерживает монтаж трех ионных колонн. В базовой конфигурации комплектуется двумя колоннами – аналитической и травления. В качестве третьей, как опции, могут выступать: аргоновая кластерная пушка, FIB, пушка на фуллеренах C60.

2. Ионная колонна времяпролетного анализатора рефлекторного типа, включающая пилотный лазер для калибровки положения держателя образцов. Колонна безшлюзно соединена с главной вакуумной камерой.

3. Камера загрузки. Выпускается в трех вариантах: для 100 мм, 200 мм, 300 мм образцов. Разделена шлюзом с главной камерой. Имеет отдельную систему откачки. Время откачки от атмосферы до рабочего давления 5х10-7 торр составляет около 3 минут. В камере возможно размещение системы предварительного нагрева/охлаждения образцов.

4. Колонна аналитической ионной висмутовой пушки. Имеет шлюз с главной камерой и дифференциальную систему откачки. Возможна установка поста акселерации/торможения пучка.

5. Ионная колонна травления. Имеет шлюз с главной камерой и дифференциальную систему откачки. По умолчанию содержит два источника: газовый кислород/аргон, жидкометаллический цезиевый. Газовый источник может быть заменен на кластерный, кислородный, цезиевый на ксенон/цезиевый распылитель.

6. Блок всей необходимой промышленной электроники для управления и питания установки.

7. Система откачки. Содержит только турбомолекулярные насосы и один безмасляный скролл-форвакуумный насос. Самая бесшумная система на рынке – звук при откачке менее 34 дБ. Возможна дополнительная комплектация прибора титановым сублимационным насосом для очистки камеры от едких и сильно загрязняющих химических веществ.

8. Моторизированный столик с пятью степенями свободы. Монтируется в главной камере. Служит для манипуляции с держателем образцов во время калибровки и измерения. Для столика используется самая прецизионная немецкая и японская механика и пьезоэлементы.

9. Рабочее место оператора, включающее компьютер и два монитора.

10. Лицензия на программное обеспечение SurfaceLab 7 – ключи на 2 рабочих места.

11. 2 держателя для образцов разных типов (до 20 образцов на одном держателе).

12.Полный комплект газового обеспечения – баллоны, трубки, редукторы, компрессор.

13.Пневматическая подвеска основной камеры инструмента. Работает на сжатом воздухе.

14. Набор запчастей и всех необходимых инструментов для монтажа установки.

15. Компенсатор заряда для диэлектриков.

16. 2 CCD-видеокамеры сверхвысокого разрешения для наблюдения за размещением держателя образцов и навигации. Размещаются в главной вакуумной камере.

17. Детектор Эверхарта-Торнли вторичных электронов. Используется для юстировки и калибровки ионных пучков.

 

(Рус)

 Аналитическая ионная пушка Nanoprobe 50:

Времяпролетный анализатор:

Ионная колонна травления: