PlasmaPro 1000 Stratum PECVD

купить оборудование Oxford Instruments Plasma Technology Система для осаждения пленок Oxford Instruments PlasmaPro 1000 Stratum PECVD купить в Техноинфо

Система PlasmaPro1000 Stratum PECVD – высокопроизводительная система для осаждения пленок из газовой фазы, обеспечивает огромные преимущества в производстве LED устройств.



PlasmaPro1000 Stratum PECVD - спроектирована специально для осаждения пассивационных слоев в LED устройствах.
  • спроектирована для осаждения слоев SiO2 и SiNx
  • высокие качество продукции и выход годной продукции
  • надежное оборудование и простота в обслуживании позволяют максимизировать время эксплуатации
Электрод большой площади и оптимизированная система подачи газа через газовый душ позволяют увеличивать количество пластин, обрабатываемых за одну загрузку
Размеры партий:
​Размер подложки ​Количество подложек
​150mm/6" ​7
​100mm/4" ​15
​50mm/2" ​61