Prisma E™

The most complete SEM for multi-user laboratories requiring all-round performance and ease-of-use.


The new Prisma E scanning electron microscope (SEM) combines a wide array of imaging and analytical modalities with new advanced automation to offer the most complete solution of any instrument in its class. It is ideal for industrial R&D, quality control, and failure analysis applications that require high resolution, sample flexibility and an easy-to-use operator interface. Prisma E succeeds the highly successful Quanta SEM.


Multi-user laboratories require a microscope to produce high quality images with relevant data in a short amount of time. Prisma E fulfills this need with a robust imaging system based on a tetrode gun assembly that delivers excellent results at a wide range of beam energies and vacuum conditions. In all these conditions, both topographic and compositional images provide the necessary sample information. With simultaneous acquisition this information is readily available for further interpretation and analysis.

(Рус)

 
В базовую комплектацию Prisma E входит:
 
  • Высокопроизводительный SEM с термоэлектронной
    эмиссионной (W) колонной
  • Компьютер с 24’ LCD монитором (Windows 7)
  • Рабочий стол
  • CCD камера
  • Мультифункциональный держатель на 7 слотов
Детекторы
  • Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли
    (SED) для топографического контраста материалов в
    режиме высокого вакуума
  • Large Field GSED (газовый детектор вторичных
    электронов для топографического контраста в режиме
    низкого вакуума
  • ESEM GSED со встроенным ограничением давления
    диафрагмы
  • 2-канальный (DBS) детектор обратно-рассеянных
    электронов для топографического и z-контраста
    материалов
Вакуумная система
  • Турбомолекулярный насос: 1 × 250 имп/с
  • Форвакуумный насос: 1 шт
Программное обеспечение
  • xT SEM – простой и удобный пользовательский интерфейс
  • Smart ScanTM – функция интеллектуального сканирования
  • DCFI – интегрированная система компенсации дрейфа
  • PathfinderTM EDS ПО для аналитики с ZAF, Proza и Cliff Lorimer
    коррекциями и множеством функций набора спектра,
    режим поэлементного картирования и др.

 

В зависимости от предполагаемой области применения, микроскоп может быть дополнительно оснащен:

  • оптической камерой Nav-Cam для удобной навигации по образцу
  • уникальным выдвижным многосегментным детектором обратно-рассеянных электронов DBS
  • устанавливаемым на линзу газовым аналитическим детектором обратнорассеянных электронов DBS-GAD для режимов низкого вакуума и ESEM
  • уникальным выдвижным многосегментным детектором прошедших электронов STEM3+
  • Пельтье столиком WetSTEM™ интегрированным с STEM для изучения тонких и влажных образцов
  • детектором катодолюминесценции RGB-CLD
  • внутриколонным ICD детектором для использования режима замедления пучка
  • специальными держателями образцов (возможен заказ держателей под нужды пользователя)
  • наноманипуляторами и зондами
  • криостоликом Пельтье от -20° C до +60° C
  • функцией замедления пучка Beam deceleration в диапазоне от -4000 В до +50 В
  • плазменной очисткой образца/камеры Plasma Cleaner
  • модулем криоочистки образца CryoCleaner
  • системой для быстрой загрузки Quick Loader
  • различными анализаторами: EDS, EBSD, CL, WDS, Raman
  • системой рисования электронным лучом Patterning
  • амперметром для измерения тока на образце
  • акустическим кожухом для вакуумной системы
  • полностью безмасляного форвакуумного насоса
  • дополнительным компьютером/монитором
  • джойстиком
  • ручной консолью управления
  • системой навигации и ПО Correlative Navigation, MAPS Tilting and Stitching
  • ПО MAPS для автоматического получения массивных изображений и их обработки
  • ПО AutoScript4 для написания скриптов и автоматизации работы
  • TopoMaps для характеризации изображений и 3D реконструкции поверхности
  • ПО дополнительного анализа изображений и 3D реконструкций Avizo/Amira/PerGeos
  • ПО для удаленного доступа и диагностики системы
  • ПО для in situ экспериментов и контроля температурных столиков 1000° C – 1400° C,
    Пельтье столика -20° C – +60° C
Камера для образцов
  • Размер камеры: 340 мм
  • Перемещение столика: 110*110 (x,y)
  • Вращение: n*360°
  • Наклон: -15°/+90°
  • Максимальный размер образца: 122 мм ⌀ (2 кг)
Рабочее ускоряющее напряжение
  • 200В – 30кВ
Разрешение
  • 3 нм на 30 кВ (SE) – HiVac
  • 4 нм на 30 кВ (BSE) – HiVac
  • 8 нм на 3 кВ (SE) – HiVac
  • 3 нм на 30 кВ (SE) – ESEM
Уровень вакуума в камере
  • (высокий вакуум) < 6 × 10-4 Па
  • (низкий вакуум) до 200 Па
  • (ESEM) до 4000 Па